DLC類金剛石涂層設備
我公司的DLC類金剛石膜的制備方式采用陽極層流性氣體離子源結合非平衡磁控濺射的方法，來獲得納米多層結構的MeC/DLC膜、納米復合結構的Me-DLC膜或單（多）元素摻雜的類金剛石膜...<
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